日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型高真空抽氣系統

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型高真空抽氣系統

特征

真空室可以在不停止主泵的情況下打開(kāi)。

維護很容易，因為它由幾個(gè)部件組成，包括一個(gè)三通閥。

由于是空氣冷卻型，因此不需要油擴散泵的冷卻水。

它是帶腳輪的易于移動(dòng)的真空泵系統。

規范

型	VPC-250F系列
極限壓力	10-4帕 10-5Pa（LN2)
主泵	油擴散泵 200 L/sec
前級泵	油旋轉泵 100 L/min
主閥	65A 拍板閥
副閥	三通閥
入口法蘭	VG-65 系列
重量	55.7 千克
外形尺寸 （W×D×H）	530 毫米（寬）×537 毫米（深）×735 毫米（高）

※電離真空計 ？皮拉尼真空計 ？LN 冷阱 ？轉換法蘭 ？油霧捕集器是選項。

效用

型	VPC-250F系列
所需功率	單相 100V 1.35kVA
接地端子	D 級（接地電阻/100MΩ 以下）
連接	乙烯基電纜（帶插頭） 2m

油擴散泵

型	DPF-200 系列
極限壓力	10-5帕
最大疏散能力	200 升/秒
臨界背壓	20帕
所需功率	單相 100V 0.45kW
推薦油	SX 70cc 發(fā)動(dòng)機
重量	5 公斤
入口法蘭	VG-65 系列
出口法蘭	Φ27毫米
冷卻方式	風(fēng)冷

尺寸圖

排氣系統圖

       中崎目前已獲得CCS晰寫(xiě)速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫(xiě)真化學(xué)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛(ài)拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時(shí)計、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué)、HORIBA堀場(chǎng)、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛(ài)安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權認證。