更新時(shí)間：2025-06-25
訪(fǎng)問(wèn)量：202
廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
型號：SC1
| 品牌 | ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 | 價(jià)格區間 | 5千-1萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科磁控管型冷陰極真空計
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科磁控管型冷陰極真空計
特征
傳感器規格
當不需要壓力顯示時(shí)，可以實(shí)現以下優(yōu)點(diǎn)：
由于取消了顯示器，真空計成本降低？更小的尺寸釋放了控制面板空間
減少布線(xiàn)
維護非常簡(jiǎn)單
消除了細絲：不會(huì )因暴露在大氣壓下而損壞
控制輸出符號：2 個(gè)設定點(diǎn)輸出
輸出信號：壓力讀數為 0 至 10V Log 輸出（非線(xiàn)性輸出）
電源電壓：DC24V 供電
用于半導體、光學(xué)和電子零件制造的精密真空設備壓力范圍內的過(guò)程控制
工業(yè)設備（如熔爐）的低真空范圍內的過(guò)程控制
在壓力范圍內對具有多個(gè)工藝腔室的真空系統進(jìn)行工藝控制，例如在線(xiàn)濺射和單晶片加工設備
| 類(lèi)型 | 傳感器單元 | ||
| 型 | SC1 | ||
| 兼容的傳感器頭 | C-21、23、24、25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10-5至 1.0 Pa | ||
| 7,5×10-8至 7.5×10-3托 | |||
| 1.0×10-7至 1.0×10-2毫巴 | |||
| 準確性 | +100%，-50%（1.0×10-4至 1.0×10-1Pa） | ||
| +100%，-50%（7.5×10-7至 7.5×10-4托爾） | |||
| +100%，-50%（1.0×10-6至 1.0×10-3mbar 的 | |||
| 測量值輸出 | 非線(xiàn)性輸出：0 至 10VDC | ||
| 壓力設定調整監視器 | 非線(xiàn)性輸出：0 至 10VDC | ||
| 控制輸入信號 | HV 開(kāi)/關(guān) | ||
| 控制輸出信號 | 集電極開(kāi)路輸出，負邏輯 確認放電/設定點(diǎn)驅動(dòng)信號 1/2 | ||
| 控制輸出信號 | 集電極開(kāi)路輸出，負邏輯 確認放電/設定點(diǎn)驅動(dòng)信號 1/2 | ||
| LED顯示屏 | 電源、HV、保護、SETPOINT1/2 | ||
| 工作溫度范圍 | 10 至 40°C（50 至 104°F） | ||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（不結露） | ||
| 電源電壓 | DC24V±2V，150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15pin（M2.6 螺絲） | ||
| 重量 | 430g（不包括傳感器頭） | ||
| 標準配件 | 輸入/輸出連接器 1 個(gè) | ||
| 快速手冊 1 個(gè) |
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